ใช้เป็นสารป้องกันความชื้นในกระบวนการสังเคราะห์สารเคมีอินทรีย์ โดยเฉพาะในปฏิกิริยาที่ต้องการสภาพแวดล้อมที่ปราศจากน้ำ เป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิกอนอินทรีย์และสารประกอบซิลิลอื่น ๆ ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อปรับปรุงพื้นผิวของวัสดุให้มีความทนทานต่อความชื้น ช่วยในการปรับปรุงประสิทธิภาพของสารเคลือบและสารยึดเกาะ ใช้เป็นสารช่วยในการทำปฏิกิริยาในกระบวนการสังเคราะห์ทางเคมี เช่น การเตรียมเอสเทอร์หรือเอไมด์ เป็นส่วนประกอบในกระบวนการผลิตยาและสารเคมีทางการแพทย์ ใช้ในการปรับสภาพพื้นผิวของแก้วหรือเซรามิกเพื่อเพิ่มการยึดเกาะของวัสดุอื่น ๆ