ใช้เป็นสารกลางทางเคมีในการผลิตวัสดุที่ตั้งอยู่บนฐานซิลิกอน โดยเฉพาะในกระบวนการโซล-เจลสำหรับการสร้างชั้นเคลือบและฟิล์มซิลิกา ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์ซิลิกอนไดออกไซด์ภายใต้สภาวะอ่อนโยน ทำให้เหมาะสำหรับการปรับเปลี่ยนพื้นผิวและการสะสมชั้นป้องกันบนพื้นผิวที่อ่อนไหว ใช้ในสูตรเฉพาะทางสำหรับการรักษากันน้ำบนกระจก โลหะ และเซรามิกส์ เนื่องจากความสามารถในการไฮโดรไลซ์เป็นกลุ่มไซลานอลที่จับติดกับพื้นผิวอย่างแข็งแกร่ง นอกจากนี้ยังใช้ในระบบปล่อยสารแบบควบคุมและการสังเคราะห์วัสดุพรุนที่การไฮโดรไลซ์แบบค่อยเป็นค่อยไปมีประโยชน์ ความไวต่อความชื้นช่วยให้สามารถใช้เป็นสารเชื่อมข้ามสำหรับเรซินซิลิโคนและกาวบางประเภท