ใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์สำหรับการผลิตตัวเก็บประจุประสิทธิภาพสูง เนื่องจากมีค่าคงที่ไดอิเล็กทริกสูงและความเสถียรทางความร้อนที่ดี พบในโทรศัพท์มือถือ คอมพิวเตอร์ และอุปกรณ์การแพทย์ที่ต้องการส่วนประกอบที่เชื่อถือได้ ขนาดกะทัดรัด และมีประสิทธิภาพ ใช้เป็นไดอิเล็กทริกแบบฟิล์มบางในวงจรรวมเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพทรานซิสเตอร์ นอกจากนี้ยังใช้ในชั้นเคลือบทางแสงสำหรับเลนส์และกระจก เนื่องจากมีดัชนีหักเหสูงและโปร่งใสในช่วงแสงที่มองเห็นและใกล้แสงอินฟราเรด ใช้ในการพัฒนาแคทาลิสต์ขั้นสูงและในชั้นเคลือบที่ทนการกัดกร่อนสำหรับอุปกรณ์อุตสาหกรรม กำลังถูกศึกษาสำหรับการใช้ในเทคโนโลยีเกิดใหม่ เช่น เมมริสเตอร์และอุปกรณ์คอมพิวติ้งควอนตัม รวมถึงมีการนำไปใช้ในงานวิจัยด้านโฟตอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง และในอุปกรณ์การแพทย์เนื่องจากคุณสมบัติที่เข้ากันได้ทางชีวภาพ