ใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์สำหรับการผลิตคาปาซิเตอร์ประสิทธิภาพสูง เนื่องจากมีค่าคงที่ไดอิเล็กทริกสูงและความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม พบในโทรศัพท์มือถือ คอมพิวเตอร์ และอุปกรณ์ทางการแพทย์ที่ต้องการส่วนประกอบที่เชื่อถือได้ ขนาดกะทัดรัด และมีประสิทธิภาพ ใช้เป็นไดอิเล็กทริกแบบฟิล์มบางในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และหน่วยความจำแบบสุ่มเข้าถึงแบบไดนามิก (DRAM) นอกจากนี้ยังใช้ในชั้นเคลือบทางแสงสำหรับเลนส์และกระจก เนื่องจากมีดัชนีหักเหสูงและโปร่งใสในช่วงแสงที่มองเห็นและใกล้อินฟราเรด ใช้ในการพัฒนาแคทาลิสต์ขั้นสูงและในชั้นเคลือบที่ทนต่อการกัดกร่อนสำหรับอุปกรณ์อุตสาหกรรม กำลังถูกศึกษาสำหรับการใช้ในเทคโนโลยีหน่วยความจำรุ่นถัดไปและวงจรรวมโฟโต้นิกส์