ใช้หลักๆ เป็นสารกลางสำคัญในการสังเคราะห์สารกำเนิดกรดจากแสง (photoacid generators: PAGs) สำหรับกระบวนการลิโธกราฟีด้วยแสงขั้นสูง โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หมู่ซัลโฟนิลคลอไรด์ของมันทำปฏิกิริยาได้ง่ายเพื่อสร้างเอสเตอร์ซัลโฟเนตที่ย่อยสลายเมื่อได้รับแสง UV ปล่อยกรดแรงออกมาเพื่อเร่งปฏิกิริยาเคมีในวัสดุโฟโต้เรซิสต์ ทำให้มีคุณค่าต่อการสร้างลายเส้นความละเอียดสูงบนไมโครชิป นอกจากนี้ยังใช้ในสังเคราะห์อินทรีย์เป็นตัวทำให้เกิดปฏิกิริยา (reagent) สำหรับการป้องกันหมู่ฟังก์ชัน (protecting group) เนื่องจากสามารถถอดออกได้อย่างเลือกเฉพาะภายใต้สภาวะอ่อนโยน โดยเฉพาะในเคมีเพปไทด์และนิวคลีโอไทด์ หมู่นิโตรและเมทอกซีช่วยเพิ่มปฏิกิริยาต่อแสงและความละลาย ทำให้ประสิทธิภาพดีขึ้นในงานที่ไวต่อแสง