ใช้ในกระบวนการสังเคราะห์วัสดุเซรามิกส์และฟิล์มบางที่มีคุณสมบัติพิเศษ โดยเฉพาะในเทคโนโลยีวัสดุขั้นสูง เช่น ใช้เป็นตัวตั้งต้นในการผลิตออกไซด์ของแคลเซียมในรูปแบบฟิล์มบางสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ หรือวัสดุที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง นอกจากนี้ยังมีการนำไปใช้ในกระบวนการโซล-เจล (sol-gel) เพื่อสร้างวัสดุที่มีโครงสร้างนาโน ซึ่งมีความสำคัญในด้านการพัฒนาเซนเซอร์ เครื่องเร่งปฏิกิริยา หรือวัสดุเคลือบที่ทนต่ออุณหภูมิสูง