ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นวัสดุฉนวนชนิดหนาที่มีค่าไดอิเล็กทริกสูง (high-k dielectric) ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของทรานซิสเตอร์โดยลดการรั่วของกระแสไฟฟ้า ทำให้ชิปคอมพิวเตอร์ทำงานได้เร็วขึ้นและประหยัดพลังงานมากขึ้น นอกจากนี้ยังใช้ในอุปกรณ์ออปติคัล เช่น เลนส์และกระจกสะท้อนแสง เนื่องจากมีความทนทานต่อรังสีและอุณหภูมิสูง จึงเหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง เช่น ในอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ รวมถึงใช้ในฟิล์มบางสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง