ใช้เป็นวัสดุโครงสร้างทนความร้อนสูงในชิ้นส่วนอวกาศและใบพัดกังหันก๊าซ เนื่องจากมีความเสถียรทางความร้อนและทนต่อการเกิดออกซิเดชันได้ดี นิยมใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์เป็นตัวกั้นการแพร่กระจายและชั้นนำไฟฟ้าในวงจรรวม ทำหน้าที่เป็นวัสดุเคลือบผิวสำหรับพื้นผิวที่ทนต่อการสึกหรอและการกัดกร่อนในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง นอกจากนี้ยังนำไปใช้ในคอมโพสิตเซรามิกขั้นสูงเพื่อความแข็งแรงทางกลและทนต่อการกระแทกทางความร้อน