ใช้ในกระบวนการผลิตวัสดุเซรามิกส์ขั้นสูงที่ต้องการคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และออปติคัลฟิล์ม เนื่องจากสามารถสร้างฟิล์มบางที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีคุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้าได้ดี นิยมใช้ในกระบวนการเคลือบด้วยวิธีโซล-เจล (sol-gel) เพื่อผลิตชั้นดายเอเล็กทริกในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังนำไปใช้เป็นตัวตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบของยตเทรียมที่ใช้ในเลเซอร์และวัสดุเรืองแสงที่มีประสิทธิภาพสูง