ใช้หลักๆ เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์ซิลิโคนเฉพาะทางและโพลีเมอร์ซิลอกเซน ใช้ในกระบวนการผลิตซีลแลนต์ กาว และสารเคลือบประสิทธิภาพสูง เนื่องจากความสามารถในการสร้างโครงสร้างซิลอกเซนไซคลิกที่เสถียร ความตอบสนองของมันทำให้มีคุณค่าในฐานะสารเชื่อมขวางสำหรับเรซินซิลิโคน ซึ่งช่วยเพิ่มความต้านทานความร้อนและสารเคมี นอกจากนี้ยังใช้ในการรักษาพื้นผิวของตัวเติมและเม็ดสีเพื่อปรับปรุงการกระจายตัวในเมทริกซ์ซิลิโคน และใช้จำกัดในงานวิจัยเพื่อพัฒนาวัสดุพื้นฐานซิเลนใหม่ที่มีคุณสมบัติเฉพาะตัว