1,1-Dichlorosilacyclobutane ใช้ในการผลิตโพลิเมอร์และวัสดุที่ขึ้นอยู่กับซิลิกอน โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการสะสมฟิล์มบาง ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการการสะสมไอทางเคมี (CVD) เพื่อสร้างชั้นเคลือบคาร์ไบด์ซิลิกอนหรือไนไตรด์ซิลิกอน ซึ่งช่วยเพิ่มความทนทานและประสิทธิภาพของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ ยังใช้ในการสังเคราะห์แบบออร์กานิกเพื่อสร้างวงแหวนซิลาซัยโคลบิวเทน ซึ่งเป็นสารกลางที่มีคุณค่าต่อการพัฒนายาและสารเคมีเฉพาะทาง โครงสร้างและความตอบสนองทางเคมีของมันทำให้เป็นส่วนประกอบสำคัญในวิทยาศาสตร์วัสดุขั้นสูงและการวิจัยนาโนเทคโนโลยี