ใช้หลัก ๆ ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ในฐานะตัวทำละลายและสารทำความสะอาดสำหรับชิ้นส่วนที่ต้องการความแม่นยำ โดยเฉพาะในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ คุณสมบัติของมันช่วยขจัดสารปนเปื้อนได้โดยไม่ทำลายวัสดุที่ละเอียดอ่อน นอกจากนี้ยังใช้ในการผสมสารเคลือบพิเศษและน้ำมันหล่อลื่น ซึ่งให้ความเสถียรทางความร้อนและเคมีสูง ในด้านการวิจัย ใช้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะปฏิกิริยาฟลูออรีน คุณสมบัติที่เฉื่อยเฉยทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในวิเคราะห์พิเศษ เช่น โครมาโทกราฟีก๊าซ