Hexamethoxydisilane ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิคอนอินทรีย์ ซึ่งมีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การผลิตสารเคลือบผิวที่มีความทนทานต่อความร้อนและสารเคมี นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการปรับปรุงพื้นผิวของวัสดุเพื่อเพิ่มคุณสมบัติการยึดเกาะและความต้านทานต่อการกัดกร่อน ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ สารนี้ถูกนำมาใช้ในการผลิตวัสดุฉนวนและสารเคลือบป้องกันสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีความละเอียดสูง