ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิคอนที่มีความสำคัญในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากสามารถให้กลุ่มฟลูออโรซิลิลที่เสถียรและมีปฏิกิริยาตอบสนองสูง นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการเคลือบพื้นผิวเพื่อปรับปรุงคุณสมบัติทางเคมีและกายภาพของวัสดุ เช่น การเพิ่มความต้านทานต่อการกัดกร่อนและการปรับปรุงการยึดเกาะของชั้นเคลือบ ในด้านการวิจัยและพัฒนา ยังมีบทบาทสำคัญในการศึกษาปฏิกิริยาเคมีของสารประกอบซิลิคอนและฟลูออรีนเพื่อการพัฒนาวัสดุใหม่ที่มีประสิทธิภาพสูง