ใช้หลักๆ เป็นสารหล่อลื่นสังเคราะห์และในของเหลวพิเศษ เนื่องจากมีเสถียรภาพทางความร้อนและความต้านทานต่อการย่อยสลายทางเคมีที่ยอดเยี่ยม พบทั่วไปในน้ำมันหล่อลื่นและน้ำมันประสิทธิภาพสูงสำหรับการใช้งานทางอากาศยานและยานยนต์ในสภาวะที่มีอุณหภูมิสุดขีดและสภาพแวดล้อมรุนแรง นอกจากนี้ยังใช้ในการผสมเคลือบผิวและยาแนวที่ต้องการพลังงานพื้นผิวต่ำและการกันน้ำ คุณสมบัติที่เฉื่อยเฉยทำให้เหมาะสำหรับใช้เป็นฉนวนไฟฟ้าและเป็นส่วนประกอบในไดอิเล็กทริกก๊าซสำหรับอุปกรณ์แรงดันสูง ใช้บ่อยในเครื่องมือความแม่นยำและระบบสุญญากาศ เนื่องจากไม่มีการปล่อยก๊าซมากและรักษาประสิทธิภาพภายใต้ความดันต่ำ