Triethylfluorosilane ใช้หลักๆ ในด้านการสังเคราะห์อินทรีย์เป็นสารเคมีช่วยในการนำกลุ่มฟังก์ชันที่มีซิลิกอนเข้าไปในโมเลกุล มีคุณค่าอย่างยิ่งในการเตรียมโพลิเมอร์และเรซินที่ขึ้นอยู่กับซิลิกอน ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตสารเคลือบ กาว และยาแนว สารประกอบนี้ยังนำไปใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นสำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีซิลิกอนผ่านกระบวนการ deposition ไอระเหยทางเคมี (CVD) นอกจากนี้ ยังใช้ในการปรับสภาพพื้นผิวเพื่อมอบคุณสมบัติกันน้ำให้กับวัสดุ เพิ่มความต้านทานต่อความชื้นและการเสื่อมสภาพจากสิ่งแวดล้อม