ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการโซล-เจลเพื่อผลิตฟิล์มบางและสารเคลือบ โดยเฉพาะสำหรับการใช้งานทางแสงและอิเล็กทรอนิกส์ ใช้ในการผลิตชั้นไดอิเล็กทริก สารเคลือบต้านการสะท้อนแสง และชั้นป้องกัน เนื่องจากสามารถสร้างฟิล์มที่เสถียรและสม่ำเสมอ นอกจากนี้ ยังใช้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะปฏิกิริยาการเกิดโพลิเมอร์ ความเสถียรทางความร้อนและคุณสมบัติการตอบสนองทางเคมีทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการ deposition ไอระเหยทางเคมี (CVD) เพื่อสร้างวัสดุออกไซด์ไทเทเนียมความบริสุทธิ์สูง