ใช้เป็นหลักในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในฐานะสารตั้งต้นสำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีส่วนประกอบของแอสเซนิกผ่านกระบวนการ deposition ไอระเหยเคมีแบบออร์กาโนเมทัลลิก (MOCVD) มีบทบาทสำคัญในการผลิตสารกึ่งตัวนำแบบคอมพาวด์ เช่น แกลเลียมแอสไรด์ (GaAs) และอินเดียมแอสไรด์ (InAs) ซึ่งจำเป็นสำหรับอิเล็กทรอนิกส์ความเร็วสูง อุปกรณ์โฟโตอิเล็กทรอนิกส์ และเครื่องตรวจจับอินฟราเรด เนื่องจากมีความตอบสนองทางเคมีสูงและมีพิษสูง การจัดการต้องมีมาตรการควบคุมความปลอดภัยที่เข้มงวด แต่คุณสมบัติการระเหยและการสลายตัวทำให้มีประสิทธิภาพในการรวมแอสเซนิกอย่างแม่นยำในกระบวนการเจริญเติบโตของคริสตัล นอกจากนี้ยังใช้ในงานวิจัยด้านเคมีอนินทรีย์และเคมีของโลหะทรานซิชัน