เอทิลเมทิลไดคลอโรซิลานใช้เป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนและสารประกอบซิลิกอนอื่นๆ เนื่องจากมีกลุ่มคลอไรด์ที่สามารถทำปฏิกิริยาได้ง่าย ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อสร้างชั้นป้องกันและเป็นสารเคลือบผิว นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์โพลิเมอร์และวัสดุเชิงประกอบที่มีสมบัติพิเศษ เช่น ความทนทานต่อความร้อนและสารเคมี ในกระบวนการผลิตแก้วและเซรามิกส์ ก็มีการนำไปใช้เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติของวัสดุให้เหมาะสมกับการใช้งานเฉพาะด้าน