ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นตัวกลางในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะในกระบวนการสร้างพันธะคาร์บอน-คาร์บอน เนื่องจากหมู่ trimethylsilyl ช่วยป้องกันตำแหน่งของหมู่ -OH ไม่ให้ทำปฏิกิริยาในขั้นตอนต่าง ๆ ทำให้สามารถควบคุมทิศทางของปฏิกิริยาได้ดีขึ้น นิยมใช้ในสังเคราะห์สารที่มีโครงสร้างซับซ้อน เช่น ยา หรือสารชีวภาพ นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเริ่มต้นในการผลิตซิลิโคนชนิดเฉพาะทางที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง