ใช้เป็นสารปรับสภาพพื้นผิวในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะสำหรับเพิ่มการยึดเกาะระหว่างวัสดุฐานเจอร์เมเนียมและโฟโต้เรซิสต์ กลุ่มเมทาคริล็อกซี่ของมันช่วยให้เกิดการจับพันธะโคเวเลนต์กับชั้นอินทรีย์ระหว่างการโฟโตลิโธกราฟี ซึ่งช่วยปรับปรุงความแม่นยำของลายเส้น นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์พอลิเมอร์ไฮบริดอินทรีย์-อนินทรีย์สำหรับอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากคุณสมบัติทางอิเล็กทรอนิกส์ที่เหมาะสมของเจอร์เมเนียม แสดงศักยภาพในการปรับสภาพพื้นผิวเซ็นเซอร์ที่ต้องการการรวมเจอร์เมเนียมกับแพลตฟอร์มซิลิกอน โดยให้ความเสถียรและการควบคุมปฏิกิริยา