ใช้ในไมโครอิเล็กทรอนิกส์เป็นตัวกั้นการแพร่และชั้นนำไฟฟ้าในวงจรรวม เนื่องจากมีความเสถียรทางความร้อนสูงและทนต่อการเคลื่อนย้ายของอิเล็กตรอน (electromigration) ใช้กันทั่วไปในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะในขั้วเกตและการเชื่อมต่อ ซึ่งต้องการความน่าเชื่อถือที่อุณหภูมิสูง นอกจากนี้ยังมีการนำไปใช้ในชั้นเคลือบความร้อนสูงสำหรับชิ้นส่วนอวกาศ เนื่องจากมีความต้านทานการออกซิเดชันที่ดีเยี่ยมและความแข็งแรงเชิงกลภายใต้สภาวะสุดขั้ว