ทังสเตนซิลิไซด์ถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในฐานะวัสดุนำไฟฟ้าสำหรับวงจรรวม โดยเฉพาะในการผลิตขั้วเกตและการเชื่อมต่อ มีความเสถียรทางความร้อนสูงและความต้านทานไฟฟ้าต่ำ ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในอุณหภูมิสูง สร้างประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในไมโครอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ ยังทำหน้าที่เป็นตัวกั้นการแพร่กระจายในกระบวนการโลหะเปลี่ยน เพื่อป้องกันปฏิกิริยาที่ไม่พึงประสงค์ระหว่างชั้นต่างๆ ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ในด้านเทคโนโลยีฟิล์มบาง ทังสเตนซิลิไซด์ถูกใช้ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์และจอแบนเนื่องจากมีค่าการนำไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมและความทนทาน ความต้านทานต่อการออกซิเดชันและการกัดกร่อนยังทำให้มีคุณค่าต่อการเคลือบป้องกันสำหรับส่วนประกอบอุตสาหกรรมต่างๆ