ใช้เป็นสารซิลิเลติ้ง (silylating agent) ในการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการนำหมู่ซิลิลเข้าไปปกป้องหมู่ฮีดรอกซิลหรือหมู่อื่นๆ ในระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน ความตอบสนองของสารนี้ทำให้มีคุณค่าต่อการเตรียมสารกลางสำหรับเภสัชภัณฑ์ สารเคมีเกษตร และซิลิโคนเฉพาะทาง ใช้กันทั่วไปในการผลิตสารคัปปลิ้งซิเลนที่ช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างวัสดุอินทรีย์และอนินทรีย์ในคอมโพสิต สีทา และยาแนว นอกจากนี้ยังใช้ในการปรับเปลี่ยนพื้นผิวของซิลิกาและแก้วเพื่อเปลี่ยนคุณสมบัติกันน้ำหรือปรับปรุงความเข้ากันได้กับเมทริกซ์โพลิเมอร์