ใช้ในกระบวนการสังเคราะห์สารประกอบออร์แกโนซิลิคอนที่เป็นตัวกลางสำคัญในการผลิตซิลิโคนชนิดต่างๆ เช่น ยางซิลิโคน น้ำมันซิลิโคน และสารเคลือบผิว นิยมใช้เป็นตัวเริ่มต้นหรือตัวทำปฏิกิริยาในขั้นตอนพอลิเมอไรเซชัน เนื่องจากหมู่ฟังก์ชันคลอรีนสามารถทำปฏิกิริยากับน้ำหรือแอลกอฮอล์ได้ง่าย จึงเหมาะสำหรับการสร้างโครงสร้างซิลอกเซน (Si-O-Si) นอกจากนี้ยังใช้ในงานวิจัยด้านวัสดุศาสตร์เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติของพื้นผิว เช่น ความต้านทานต่อความชื้นและการยึดติด