ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนและสารประกอบซิลิคอนอินทรีย์ โดยทำหน้าที่เป็นตัวเชื่อมหรือตัวทำให้เกิดปฏิกิริยาในกระบวนการสร้างพอลิเมอร์ มีการนำไปใช้ในการปรับปรุงพื้นผิวของวัสดุ เช่น การทำให้วัสดุมีคุณสมบัติทนต่อน้ำหรือลดการจับตัวของฝุ่น นิยมใช้ในสูตรสารเคลือบผิว สารยึดติด และวัสดุที่ต้องการพื้นผิวพิเศษ เช่น อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์หรือเลนส์ออปติก นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตัวกลางในกระบวนการสังเคราะห์สารเคมีอื่นๆ ที่ต้องการหมู่ฟังก์ชันเฉพาะในการทำปฏิกิริยา