ใช้เป็นสารปรับปรุงพื้นผิวในเคมีซิลิโคน โดยเฉพาะในการผลิตโพลิเมอร์ซิลอกเซนพิเศษ มันนำเสนอทั้งคุณสมบัติกันน้ำ (hydrophobic) และฟังก์ชันที่ทำปฏิกิริยา (reactive) บนพื้นผิว ทำให้มีคุณค่าในสารเคลือบ กาว และยาแนวที่ต้องการความต้านทานความชื้นและการส่งเสริมการยึดเกาะ ใช้กันทั่วไปในการสังเคราะห์วัสดุไฮบริดอินทรีย์-อนินทรีย์ เนื่องจากความสามารถในการทำปฏิกิริยาคู่จากกลุ่มคลอโรซิเลนและกลุ่มซิลิลอีเทอร์ นอกจากนี้ยังใช้ในการปรับปรุงตัวเติมและเม็ดสีเพื่อการกระจายตัวที่ดีขึ้นในเมทริกซ์ซิลิโคน กลุ่มอัลคอกซีและซิโลกซีของมันช่วยเพิ่มความเข้ากันได้กับระบบเรซินต่างๆ สนับสนุนการใช้ในการห่อหุ้มอิเล็กทรอนิกส์และสารเคลือบแบบปล่อย