ใช้เป็นสารเคลือบผิวที่ช่วยกันน้ำและกันน้ำมันได้ดี เนื่องจากมีหมู่ทริคลอโรซิลิลที่ทำปฏิกิริยากับพื้นผิวของวัสดุ เช่น แก้ว โลหะ หรือเซรามิกส์ ทำให้เกิดชั้นฟิล์มที่มีคุณสมบัติทนต่อการกัดกร่อนและลดการเกาะติดของสิ่งสกปรก เหมาะสำหรับใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อป้องกันความชื้น และในอุปกรณ์ทางการแพทย์ที่ต้องการพื้นผิวที่ไม่ทำปฏิกิริยา รวมถึงใช้ในวัสดุก่อสร้างเพื่อเพิ่มความทนทานต่อสภาพอากาศ