ใช้เป็นสารจัดการพื้นผิวเพื่อถ่ายทอดคุณสมบัติกันน้ำและกันน้ำมันให้กับวัสดุ เช่น กระจก โลหะ และเซรามิกส์ ใช้ทั่วไปในสารเคลือบและยาแนวเพื่อเพิ่มความทนทานและป้องกันความชื้น ทำหน้าที่เป็นสารเชื่อม (coupling agent) ในวัสดุคอมโพสิต ช่วยปรับปรุงการยึดเกาะระหว่างโพลิเมอร์อินทรีย์และพื้นผิวอนินทรีย์ เช่น ในเรซิน ยาง หรือพลาสติก โดยช่วยเพิ่มความแข็งแรงและอายุการใช้งาน นอกจากนี้ ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนฟลูออรีน ซึ่งมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและอุณหภูมิสูง เหมาะสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และวัสดุเคลือบผิวที่ต้องการความทนทานพิเศษ และใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการสะสมฟิล์มที่มีซิลิคอนผ่านกระบวนการ deposition ด้วยไอระเหยทางเคมี (CVD)