ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนและวัสดุซิลิกา โดยทำหน้าที่เป็นตัวทำให้เกิดปฏิกิริยาเชื่อมโยง (coupling agent) ในกระบวนการผลิตกระจก ยาง และพลาสติก เพื่อเพิ่มความแข็งแรงและการยึดติดระหว่างพื้นผิวต่างชนิดกัน นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารเคลือบผิวเพื่อป้องกันความชื้นและสารเคมีในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และโลหะ เนื่องจากสามารถสร้างชั้นฟิล์มบางที่ทนต่อสภาพแวดล้อมได้ดี