สารนี้ถูกนำมาใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิกอนชนิดต่าง ๆ โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตวัสดุที่มีโครงสร้างซิลิกอน-ออกซิเจน (Si-O) ซึ่งมีความสำคัญในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และวัสดุศาสตร์ นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารปรับสภาพพื้นผิว (surface modifier) เพื่อเพิ่มความเข้ากันได้ระหว่างวัสดุอินทรีย์และอนินทรีย์ ในกระบวนการเคลือบผิวหรือการผลิตฟิล์มบาง บางครั้งยังถูกนำมาใช้ในกระบวนการผลิตสารเร่งปฏิกิริยา (catalysts) และวัสดุที่มีรูพรุน (porous materials) ที่ใช้ในงานวิศวกรรมเคมีและสิ่งแวดล้อม