ใช้หลักๆ เป็นตัวกลางที่ได้รับการป้องกันในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเภสัชกรรมและเกษตรเคมี กลุ่มซิลิลอีเทอร์ให้ความเสถียรและความเลือกในการทำปฏิกิริยาหลายขั้นตอน ช่วยให้สามารถควบคุมการแปลงหมู่ฟังก์ชันได้ โครงสร้างอะโรมาติกที่มีฮาโลเจนทำให้มีคุณค่าในการทำปฏิกิริยาครอส-คัปพลิง เช่น Suzuki หรือ Ullmann couplings โดยสามารถใช้ประโยชน์จากปฏิกิริยาของฮาโลเจนแบบเลือกได้ ใช้กันทั่วไปในการสังเคราะห์โมเลกุลชีวภาพที่ซับซ้อนซึ่งต้องการการป้องกันชั่วคราวของหมู่ไฮดรอกซิลฟีโนลิก นอกจากนี้ยังใช้ในการพัฒนายาฆ่าแมลงและสารกำจัดวัชพืชใหม่ๆ เนื่องจากซิลานและสารย่อยฮาโลเจนช่วยเพิ่มลิโพฟิลิกและความเสถียรต่อสิ่งแวดล้อม