เมทอกซีไตรเมทิลซิลาน์ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิคอนต่าง ๆ ในอุตสาหกรรมเคมี โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตสารเคลือบผิวและวัสดุกันน้ำ เนื่องจากมีคุณสมบัติในการสร้างพันธะกับพื้นผิวต่าง ๆ ได้ดี ช่วยเพิ่มความทนทานและป้องกันการซึมน้ำ นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารช่วยในกระบวนการผลิตโพลิเมอร์และเรซิน เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติทางกลและความเสถียรของวัสดุ อีกทั้งยังมีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ใช้เป็นสารเคลือบป้องกันและปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อีกด้วย