ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารออร์กาโนซิลิคอนต่างๆ ในอุตสาหกรรม โดยเฉพาะในการผลิตโพลิเมอร์และเรซินซิลิโคนที่ต้องการคุณสมบัติพิเศษ เช่น ความทนทานต่อความร้อนและสารเคมี นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการปรับสภาพผิว เช่น การเคลือบสารกันน้ำบนวัสดุอย่างกระจกหรือเซรามิก โดยกลุ่มไฮดรอกซิลช่วยในการยึดติด และกลุ่มไตรเมทิลซิลิลช่วยเพิ่มคุณสมบัติกันน้ำ ในอุตสาหกรรมเครื่องสำอาง ใช้เป็นสารปรับสภาพผิวเพื่อเพิ่มความชุ่มชื้นและความนุ่มนวล นอกจากนี้ยังมีบทบาทในอุตสาหกรรมเภสัชภัณฑ์สำหรับการสังเคราะห์สารกลางในการผลิตยา