Tris(dimethylsilyl)amine ถูกใช้อย่างแพร่หลายในสาขาเคมีออร์กาโนเมทัลลิกเป็นสารตั้งต้นสำหรับการสังเคราะห์สารประกอบซิลิกอน-ไนโตรเจนต่างๆ ทำหน้าที่เป็นสารเคมีหลักในการเตรียมโพลิเมอร์และการเคลือบที่ขึ้นอยู่กับซิลิกอน ซึ่งจำเป็นสำหรับการสร้างวัสดุที่มีความเสถียรทางความร้อนสูงและทนต่อการออกซิเดชัน นอกจากนี้ ยังถูกนำมาใช้ในการสะสมฟิล์มไนไตรด์ซิลิกอน ซึ่งเป็นส่วนประกอบสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการผลิตวงจรรวมและอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ความสามารถในการทำหน้าที่เป็นสารซิลิเลติงทำให้มีคุณค่าต่อการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะในกลุ่มป้องกันและการปรับเปลี่ยนพื้นผิวเพื่อเสริมคุณสมบัติทางเคมี