ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิโคนที่มีคุณสมบัติพิเศษ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมวัสดุเคลือบผิว เนื่องจากสามารถช่วยเพิ่มความทนทานต่อความชื้นและป้องกันการกัดกร่อนได้ดี นิยมใช้ในกระบวนการปรับปรุงพื้นผิวของวัสดุ เช่น แก้ว โลหะ หรือเซรามิก เพื่อให้มีคุณสมบัติทนน้ำและลดการเกาะติดของสิ่งสกปรก นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารเชื่อมต่อ (coupling agent) ในระบบโพลิเมอร์ เพื่อเพิ่มการยึดเกาะระหว่างวัสดุอนินทรีย์กับอินทรีย์ ทำให้ผลิตภัณฑ์มีความแข็งแรงและคงทนมากขึ้น