ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์ซิลิโคนและสารประกอบออร์แกนโอซิลิคอนที่มีโครงสร้างซับซ้อน โดยเฉพาะในงานวิจัยและพัฒนาวัสดุใหม่ที่ต้องการความเสถียรทางความร้อนและความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน นิยมใช้ในห้องปฏิบัติการเพื่อสร้างพันธะซิลิเกลือหรือซิลิลีลในโมเลกุลเป้าหมาย ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการควบคุมการเกิดปฏิกิริยาเคมี โดยเฉพาะในสังเคราะห์แบบเลือกจำเพาะตำแหน่ง นอกจากนี้ยังมีบทบาทในการผลิตสารเคลือบผิวและวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการคุณสมบัติการกันความชื้นและการสลายตัวต่ำ