ใช้เป็นสารเคมีในปฏิกิริยาสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะในการเตรียมสารประกอบอะโรมาติกที่มีการแทนที่ด้วยหมู่ฟังก์ชัน ทำหน้าที่เป็นสารซิลิเลติงเพื่อปกป้องหมู่ที่ทำปฏิกิริยาได้ในระหว่างการสังเคราะห์หลายขั้นตอน แหวนอะโรมาติกที่ถูกแทนที่ด้วยคลอโรช่วยให้เกิดปฏิกิริยาครอส-คัปปลิ้งเพิ่มเติม ทำให้มีคุณค่าในอุตสาหกรรมเภสัชกรรมและเกษตรเคมีสำหรับการสร้างโมเลกุลที่ซับซ้อน นอกจากนี้ยังใช้ในการปรับเปลี่ยนพื้นผิวซิลิคอนและในการพัฒนาโพลิเมอร์ซิลอกเซนเฉพาะทาง