ใช้เป็นสารตัวทำปฏิกิริยาซิลิเลชัน (silylating agent) ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันกลุ่มไฮดรอกซิลในแอลกอฮอล์และฟีนอล กลุ่ม t-butoxy ที่มีขนาดใหญ่ช่วยให้มีความเลือกสรรสูงและความเสถียรภายใต้สภาวะการทำปฏิกิริยาต่างๆ ใช้อย่างแพร่หลายในการเตรียมสารกลางที่ละเอียดอ่อนในเภสัชภัณฑ์และเคมีภัณฑ์ละเอียด ซึ่งต้องการการควบคุมปฏิกิริยาและผลข้างเคียงน้อยที่สุด นอกจากนี้ ยังใช้ในการปรับสภาพผิวของซิลิกาและวัสดุอื่นๆ เพื่อนำคุณสมบัติกันน้ำมาใช้ ทำให้มีคุณค่าในชั้นเคลือบ กาว และวัสดุคอมโพสิต