ใช้อย่างแพร่หลายเป็นสารซิลิเลติ้งเอเจนต์ในการสังเคราะห์อินทรีย์ ซึ่งช่วยปกป้องหมู่ฟังก์ชันที่ทำปฏิกิริยาได้ง่าย เช่น แอลกอฮอล์ อะมีน และกรดคาร์บอกซิลิก ระหว่างปฏิกิริยาเคมี สารประกอบนี้มีคุณค่าอย่างยิ่งในการผลิตโพลิเมอร์และวัสดุที่ขึ้นอยู่กับซิลิกอน โดยทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นหลัก นอกจากนี้ยังนำไปใช้ในการเตรียมสารออร์กาโนซิลิคอน ซึ่งมีความสำคัญในสารเคลือบ กาว และยาแนว เนื่องจากคุณสมบัติความเสถียรทางความร้อนและการกันน้ำ นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมเภสัชกรรมสำหรับการปรับเปลี่ยนโมเลกุลยาเพื่อเพิ่มความเสถียรหรือการดูดซึมทางชีวภาพ บทบาทในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์น่าทึ่ง โดยช่วยในการสะสมฟิล์มบางที่บรรจุซิลิกอนสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์