CEF3 ใช้หลักในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เป็นสารทำความสะอาดสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยมีประสิทธิภาพในการขจัดคราบตกค้างและสารปนเปื้อนจากแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน เพื่อให้มั่นใจในประสิทธิภาพสูงสุดของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ ยังใช้ในการผลิตกระจกพิเศษและเส้นใยแสงเนื่องจากความสามารถในการเพิ่มความชัดเจนและความทนทาน ในสาขาวิทยาศาสตร์สิ่งแวดล้อม ใช้ในระบบควบคุมมลพิษทางอากาศเพื่อดักจับและทำให้เป็นกลางมลพิษที่เป็นอันตราย คุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ยังทำให้เหมาะสำหรับการวิจัยวัสดุขั้นสูง โดยเฉพาะในการพัฒนาผลิตภัณฑ์เคลือบและคอมโพสิตประสิทธิภาพสูง