ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะในปฏิกิริยาการจับคู่ข้าม เช่น ปฏิกิริยา Suzuki-Miyaura ซึ่งหมู่ trimethylsilyl สามารถถูกแปลงหรือกำจัดออกได้อย่างเลือกสรรเพื่อช่วยในการสร้างโครงสร้าง biaryl ที่ซับซ้อน ลักษณะความเสถียรและปฏิกิริยาของมันทำให้มีคุณค่าต่อการพัฒนายาเคมีเกษตร และวัสดุขั้นสูง หมู่ซิลิลยังทำหน้าที่เป็นตัวชี้นำหรือป้องกันในเส้นทางสังเคราะห์บางอย่าง อนุญาตให้เกิดการฟังก์ชันนัไลเซชันแบบ regioselective ใช้กันทั่วไปในงานวิจัยสำหรับการเตรียมของเหลวผลึก เซมิคอนดักเตอร์อินทรีย์ และลิแกนด์สำหรับการเร่งปฏิกิริยา