ใช้เป็นตัวทำละลายในอุตสาหกรรมไฟฟ้าและอิเล็กทรอนิกส์ โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตชิ้นส่วนที่ต้องการความสะอาดสูง เนื่องจากมีคุณสมบัติระเหยง่ายและไม่ทิ้งคราบ นิยมใช้ในการทำความสะอาดแผงวงจรและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารกลางในปฏิกิริยาเคมีบางประเภทที่ต้องการสภาพแวดล้อมที่ไม่เกิดการออกซิเดชัน และมีเสถียรภาพต่อความร้อนและแสงได้ดี ทำให้เหมาะกับการใช้งานในสภาวะที่เข้มงวด