ใช้เป็นตัวทำละลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ โดยเฉพาะในกระบวนการล้างชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง เนื่องจากมีคุณสมบัติระเหยง่าย ไม่ทิ้งคราบ และไม่ก่อให้เกิดการกัดกร่อน มักใช้แทนสารประเภทฮาโลเจนที่เป็นอันตรายต่อชั้นบรรยากาศ มีการใช้ในระบบทำความเย็นบางประเภท และในผลิตภัณฑ์ที่ต้องการคุณสมบัติทนต่อความร้อนและสารเคมี เช่น อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และการเคลือบผิวที่ต้องการความทนทานสูง