ใช้เป็นของไหลถ่ายเทความร้อนในระบบระบายความร้อนประสิทธิภาพสูง เนื่องจากมีความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและมีปฏิกิริยาต่ำ. ใช้บ่อยในระบบระบายความร้อนอิเล็กทรอนิกส์ โดยเฉพาะการระบายความร้อนแบบการแช่ (immersion cooling) สำหรับศูนย์ข้อมูลและระบบคอมพิวเตอร์ประสิทธิภาพสูง. ทำหน้าที่เป็นของไหลไดอิเล็กทริก ช่วยให้สามารถแช่อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ได้อย่างปลอดภัยโดยไม่เสี่ยงต่อการลัดวงจร. นอกจากนี้ยังใช้ในโครมาโทกราฟีแก๊สเป็นเฟสสถานี และเป็นก๊าซติดตามในงานศึกษาบรรยากาศ เนื่องจากความเฉื่อยและสามารถตรวจจับได้ในความเข้มข้นต่ำ. ความเสถียรและไม่ติดไฟทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในด้านอวกาศและกลาโหมที่ต้องการประสิทธิภาพเชื่อถือได้ในสภาวะสุดขั้ว. นอกจากนี้ ยังใช้เป็นตัวทำละลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากคุณสมบัติที่ไม่ทำปฏิกิริยากับสารกึ่งตัวนำ.