ใช้เป็นสารหล่อลื่นในสภาวะที่มีอุณหภูมิสูงหรือต่ำมาก เนื่องจากมีความเสถียรต่อความร้อนและไม่แข็งตัวง่ายในอุณหภูมิต่ำ เหมาะสำหรับใช้ในอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ เช่น ใช้หล่อลื่นชิ้นส่วนเครื่องยนต์ เกียร์ และปั๊มสุญญากาศ นอกจากนี้ยังใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง เพราะไม่ทำปฏิกิริยากับสารอื่นง่ายและไม่เกิดการนำไฟฟ้า จึงปลอดภัยต่อวงจรไฟฟ้า ยังนิยมใช้ในระบบสูญญากาศและอุปกรณ์ที่สัมผัสกับสารเคมีรุนแรง เนื่องจากทนต่อสารเคมีได้ดีมาก