ใช้เป็นตัวทำละลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากมีความเสถียรต่อความร้อนและสารเคมีสูง เหมาะสำหรับการทำความสะอาดชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ละเอียดอ่อน เช่น เซมิคอนดักเตอร์และวงจรพิมพ์ โดยไม่ทิ้งคราบหรือทำให้เกิดการกัดกร่อน นอกจากนี้ยังใช้ในระบบทำความเย็นเฉพาะทางและเป็นสื่อกลางในกระบวนการผลิตที่ต้องการสภาพแวดล้อมที่บริสุทธิ์สูง เนื่องจากไม่ไวต่อการเกิดปฏิกิริยาและระเหยง่ายโดยไม่เหลือสารตกค้าง