ใช้เป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนโมเลกุลต่ำ ซึ่งมีบทบาทสำคัญในการปรับปรุงคุณสมบัติของวัสดุผิว เช่น การทำให้พื้นผิวมีความต้านทานต่อน้ำหรือฝุ่น มักใช้ในกระบวนการเคลือบผิวของวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ออปติคัล และพื้นผิวกระจก เพื่อเพิ่มความทนทานและลดการเกาะติดของสิ่งสกปรก นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเชื่อมต่อทางเคมีในระบบโพลิเมอร์ เพื่อเพิ่มการยึดเกาะระหว่างชั้นวัสดุที่ต่างกัน โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุนาโน