ใช้หลักๆ เป็นของเหลวถ่ายเทความร้อนในระบบทำความเย็นเฉพาะทาง เนื่องจากมีเสถียรภาพทางความร้อนดีเยี่ยมและพิษต่ำ มีประสิทธิภาพในทั้งการทำความเย็นที่อุณหภูมิต่ำและการระบายความร้อนอิเล็กทรอนิกส์ประสิทธิภาพสูง คุณสมบัติไม่ติดไฟและศักยภาพการทำให้โลกร้อนต่ำทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่ละเอียดอ่อนต่อสิ่งแวดล้อม นอกจากนี้ยังเป็นฉนวนไฟฟ้า จึงนิยมใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ พบทั่วไปในของเหลวทำความสะอาดแบบแม่นยำและเป็นของเหลวพาหะในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการความเฉื่อยและความบริสุทธิ์สูง เนื่องจากมีความบริสุทธิ์สูงและไม่ทิ้งคราบหลังการระเหย นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวทำละลายในกระบวนการแปรรูปฟลูออโรโพลิเมอร์บางชนิด