ใช้กันอย่างแพร่หลายในการสังเคราะห์อินทรีย์ในฐานะตัวแทนซิลิเลชัน (silylating agent) โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ไฮดรอกซิลและอะมิโนในโมเลกุลที่ละเอียดอ่อน มันทำปฏิกิริยาได้อย่างรวดเร็วภายใต้สภาวะอ่อนโยน ทำให้เหมาะสำหรับใช้ในเคมีเปปไทด์และนิวคลีโอไทด์ ใช้กันทั่วไปในการเตรียมอนุพันธ์ไตรเมทิลซิลิลสำหรับก๊าซโครมาโทกราฟีและสเปกโตรเมตรีมวลเพื่อเพิ่มความผันผวนและการตรวจจับ นอกจากนี้ยังทำหน้าที่เป็นตัวเร่งในการกระตุ้น donor ของ glycosyl ในเคมีคาร์โบไฮเดรต ความสามารถในการสร้างกรดไตรฟลูออโรอะซิติกในที่เกิดขึ้น (in situ) ทำให้มีประโยชน์ในปฏิกิริยาที่มีกรดเป็นตัวเร่งซึ่งต้องการความเป็นกรดที่ควบคุมได้